SKC社がブランクマスクを量産。韓国政府と連携

 
20日、韓国の産業省(産業通商資源部)は、SKC社がフッ化アルゴン(ArF)用などのハイエンドブランクマスクの試作品を国内企業とテストしており、今年下半期に本格的に量産すると明らかにした。
 
(参考記事:「SKCが半導体ブランクマスクを年内量産へ」)
 
ブランクマスクとは回路パターンを描く前のフォトマスク原版だ。石英ガラスに金属膜・感光液などを塗布して製造する。ブランクマスクは反応する光の波長に応じてフッ化クリプトン(KrF、248nm)、フッ化アルゴン(ArF、193nm)、極紫外線(EUV、13.5nm)用に区分される。 ArFとEUVがハイエンドである。

半導体プロセスの核心素材であるブランクマスクが量産されると、韓国内での供給が安定する見通しだ。ブランクマスクは対日本輸入依存度が高い品目だった。

ジョン・スンイル産業省次官は20日、天安(チョナン)にあるSKC社のブランクマスク工場を訪問し、核心素材・部品・装備の国産化の成果を強調した。政府は対日輸入上位20品目について、供給安定確保と国内生産の拡大、技術開発、輸入国の多様化などを進めている。技術開発では、昨年の650億ウォン(約57億円)に続き今年1165億ウォン(約100億円)を投入する。

日本の輸出規制(輸出管理強化)3品目については、工場の設立、外資によるT投資などで年内の完全な供給安定化を達成する計画だ。残りの80品目については、今年1兆2000億ウォン(約1060億円)の研究開発支援を推進する。

ジョン次官は「素材・部品・装備の技術力強化、産業生態系の構築などのために、政府と需要・供給企業間の緊密な協力が重要である」とし「早期成果創出のために素材・部品・装備100大核心品目の商用化に今年2100億ウォン(約185億円)以上を支援する」と述べた。

イ・ヨンソンSKC副社長は「新工場完成に必要な環境などの許認可の処理、輸入機器の割り当て関税の適用と研究開発への政府支援に感謝する」とし「韓国企業が素材・部品・装備の政策推進動力を維持できるよう、政府の関心と支援を要請する」と述べた。

SKCは、過去2018年から総430億ウォン(約38億円)を投資し、昨年末にブランクマスク新工場を完成させた。来年には、より高度な製品を量産することが目標だ。 SKCは、日本の3大輸出規制品目であるフッ化ポリイミドに850億ウォン(約75億円)を投資し、昨年末に完成した新工場で試作品を生産している。去る1月には、銅箔製造企業のKCFTを1兆2000億ウォン(約1060億円)で買収した。
 
(参考記事:「SKマテリアルズがフッ化水素を来月量産開始か」)
(参考記事:「[特集]半導体関連の買収・投資を進めるSKグループ」)
 
 

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