エス・アンド・テック社がEUV用素材のR&D進める

エス・アンド・テック(S&S TECH.)社が極紫外線(EUV)露光工程用の素材部品の開発を進めているという。

韓国メディア・ジイレック紙によると、エス・アンド・テック社は、EUV用ブランクマスクの研究開発(R&D)を行っていると伝えた。まだ具体的な量産時期を検討する時期には入ってないが、EUV関連部素材のトータルソリューション企業へと飛躍することを目標にそえ、R&Dへのリソースを増加させているとのこと。

ブランクマスクは、半導体フォトマスクの原材料である。既存のフッ化アルゴン(ArF)ブランクマスクは、石英ガラス(クォーツ)のクロム合金をコーティングして作った。 EUVブランクマスクは石英ガラスではなく熱膨張率が100分の1の水準に低いセラミック材料を使用する。セラミック上にモリブデン(Mo)とシリコン(Si)をナノメートルレベルで薄く、多層で載せ、タンタル(Ta)ベースの合金で再びコーティングして完成される。現在、日本企業であるHOYAと旭硝子がEUV用ブランクマスクを生産供給している。

エス・アンド・テック社はEUV用ペルリクル(Pellicle)の事業にも取り組んでいるようだ。ペルリクルはフォトマスクの汚染を防止する保護膜を意味する。ジイレック紙によると、同社の関係者は、「今年のASMLの四半期業績発表当時、私たちは、公式のペルリクルサプライヤーとして紹介されたことがある」とし、「しかし、エンドユーザーとの供給についてはまだ協議していない」と述べたという。

エス・アンド・テックの経常R&D費用は2017年26億ウォン(約2億円)、2018年31億ウォン(約3億円)、2019年43億ウォン(4億円)と毎年増えている。同社の従業員206人(昨年末基準)のうち、40人が研究者であると、同紙は伝えている。

ソウル経済紙は28日、エス・アンド・テック社の株価は過去1か月間で49.62%上昇していると伝えている。

 
 

関連記事

特集記事

エレクトロニクス業界リサーチやコンサルティング、コーディネーションのご相談はこちらまで

ランキング

  1. 1

    シャープからサムスンに転職したエンジニアが語る「サムスンが優秀な理由」

  2. 2

    スマホ世界一のサムスン電子が日本市場で苦戦中、iPhoneとは対照的

  3. 3

    Galaxy S23 ultraの色やエッジは? 「薄くなって平らになる」

  4. 4

    味の素社が製造するABFの調達懸念で韓国半導体業界は非常事態に…なぜ?

  5. 5

    Galaxy S22の購入者、発熱問題でサムスン電子を相手に集団訴訟を予告

  6. 6

    LCD事業の撤退を急ぐサムスンディスプレイ…今年6月に生産終了へ向け調整

  7. 7

    「二つ折り」サムスンの新商品フォルダブルフォン「フレックス」公開

  8. 8

    再びやってきたGalaxyの危機、「バッテリー爆発」Note7の事態を振り返る

  9. 9

    ウクライナ事態で希少ガス「ネオン」の価格が高騰…ポスコに関心集まる

  10. 10

    サムスン電子、横にもワイドな「ㄱ字型」のフォルダブルフォンを発売へ

TWITTER

「Galaxy Z4 vs iPhone14 vs Mate50」韓米中の戦略スマホがビッグマッチ
#コリアエレクトロニクス
https://korea-elec.jp/post/22091603/

米EV補助金の中止で暗雲が立ち込める現代自動車グループ、解決策はあるか
#コリアエレクトロニクス
https://korea-elec.jp/post/22091602/

K-半導体、需要低迷による危機が懸念される中、韓国企業は投資で正面勝負に
#コリアエレクトロニクス
https://korea-elec.jp/post/22091601/

BOE、昨年米国での出願特許1位・サムスンDは2位…技術覇権争い激化
#コリアエレクトロニクス
https://korea-elec.jp/post/22091502/

サムスンSDI、独BMWと北米にEVバッテリー工場設立の可能性
#コリアエレクトロニクス
https://korea-elec.jp/post/22091501/

Load More
TOP