サムスン平沢工場でコロナ感染者 EUVライン増設現場

増設工事中であるサムスン電子の平沢(ピョンテク)工場において、新型コロナウイルスの感染者が発生した。韓国各紙が報じた。半導体生産ラインは正常稼働中であるという。

14日、サムスン電子によると、平沢第2工場(P2)増設工事現場で働いていた現場事務所の社員が新型コロナウイルスの陽性診断を受けたという。同社員はサムスン物産に所属しているとのこと。工事現場は一時閉鎖されたという。

現場には、サムスン物産、サムスンエンジニアリング、その他の協力会社の社員など2万人が従事しているという。サムスン物産は社員全員を撤退させ、防疫作業に乗り出した。工事現場への出入りは制限されているという。

現在、サムスン電子は、平沢工場にP2と極紫外線(EUV)ライン「P-EUV(P3)」を増設中だ。P2とP3は、今年の下半期に稼動予定であり、最先端のDRAMが生産される。

P2には、第2世代(1y)と第3世代(1z)10ナノ級DRAM設備が入る予定だ。初期生産能力(CAPA)は月3万(30K)枚レベルである。サムスン電子は、1yと1z DRAMの割合を高めているとされる。

P3は、DRAM専用EUVファブある。サムスン電子は今年3月EUV工程を適用した第1世代(1x)DDR(Double Data Rate)4 DRAMモジュールを生産したと発表した。 EUVは、波長の長さが短く、微細な回路を描くのに適しているとされる。ウェハあたりの生産性は2倍以上向上させることができるといい、サムスン電子は4世代(1a)DDR5 DRAMからEUVを本格的に導入する。

韓国メディアは、半導体生産現場と工事現場は近接していないことから、半導体生産に支障が出る可能性は低いという見方を伝えている。
 
(参考記事:「サムスンがEUV適用DRAM生産開始。モジュール100万個を出荷」)
(参考記事:「サムスン総裁がEUV専用ライン再び視察、同ラインの本格稼働も発表。」)
 

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