韓国ハナ社が東京エレクトロンにSICリングを供給か…東海カーボン独占市場

半導体素材部品メーカーのハナマテリアルズがSiC(炭化ケイ素)リングを東京エレクトロンに供給するという報道が出ている。

韓国の電子新聞(etnews)は27日、ハナマテリアルズが東京エレクトロン(TEL)からSiCリング量産の承認を得たと報じた。同社関係者は、「一部製品は供給がされており、現在10品目以上が開発、テスト中だ」と説明したという。

SiCリングは半導体エッチング装置でウェハーを固定する役割をする。エッチング装置はチャンバーの中でプラズマ状態のイオンガスをウェハー上に打ち、表面を削る。この時、ウェハーを固定させなければ縁が割れたり、損傷が生じることがある。

電子新聞によると、SiCリング市場はこれまで、日本の東海カーボンが筆頭株主であるTCK社(韓国東海カーボン)が世界シェア80%を占めていたとし、「東海カーボンの資金力と製造技術をパターンに急速に市場を掌握した」と指摘。

一方で、「TCKへの依存度が高いため、最終的な需要先であるサムスン電子やSKハイニクスなどもSiCリング多様化への意志が強い。その結果、ハナマテリアルズ承認と同じ事例で具体化したものと解釈される」と伝えた。

東京エレクトロンはハナマテリアルズの2大株主であり、同社の株式13.89%を保有している。(ハナマテリアルズの2020上半期報告書による)

(画像:シリコンリング=ハナマテリアルズのウェブサイト)
 
(参考記事:「日韓合弁のTCK社、Q2売上が史上最大値更新…半導体用グラファイトなど製造」)
(参考記事:「東京エレクトロンが韓国平沢に大規模SPセンター竣工」)

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