韓国SKの半導体工場でフッ化水素の事故発生…火傷など3人負傷

SKハイニクスの半導体工場で機器点検をしていた労働者3人が毒性物質であるフッ酸にさらされる事故があり負傷したことが分かった。
 
(参考記事:「[特集]フッ化水素を内製化したSKグループ、半導体事業でさらなる動きも」)
 
6日、SKハイニクスと韓国消防当局によると、同日午前11時34分ごろ、京畿道利川市にあるSKハイニクスM16工場の5階において機器を点検していた過程でフッ酸が漏れた。この事故で、作業者A(30)氏が腕や足に火傷を負い、一緒に働いていたB(27)氏など従業員2人もフッ酸から出たガスを吸引して近くの病院に移された。 3人とも命には別条がないことが分かった。

フッ酸は、無色の有毒物質であるフッ化水素を水に溶かした揮発性の液体である。半導体回路を作成するときに、回路パターンのほか、不要な部分を削除するエッチング工程(エッチング)に使用される。

韓国警察当局は、設備のメンテナンス会社が環境分析装置を試験運用していた過程で機器からフッ酸500ml漏れたものと見ている。この日の午後1時40分ごろ、フッ酸の濃度は、0%と測定された。

SKハイニクスは今回の事故は、M16新工場に投入された機器を点検する過程で発生したもので、半導体の生産には支障がないと明らかにした。
 
(参考記事:「SKハイニクス、独ボッシュに車載DRAMを供給か…10年契約と韓国紙」)
(参考記事:「SKハイニクスがEUVライン備えた新工場を竣工…3300億円投じた巨大施設」)
(参考記事:「韓国次期大統領最有力候補、SKの半導体新工場訪問…「技術独立は重要課題」「支援を惜しまない」」)
(参考記事:「サムスンがフッ化水素を再利用か…使用量最大9割減?」)
(参考記事:「韓国のフッ化水素輸入、対日依存度が下がる…フォトレジストやフッ化ポリイミドも」)

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