米KLA Corporationは22日、8935高生産性パターンウェーハ検査装置、C205ブロードバンドプラズマパターンウェーハ検査装置、Surfscan® SP A2/A3パターン無しウェーハ検査装置、I-PAT®インラインPATスクリーニングソリューションの４つの新製品を発表した。
新しい3つの検査装置は、自動車産業におけるデザインノードチップ製造での原因となる欠陥検出、モニタリング、欠陥制御のソリューションを提供する。Surfscan SP A2/A3パターン無しウェーハ検査装置は、DUV光学系と高度アルゴリズムを組込み、自動車関連チップの信頼性の問題を引き起こす可能性があるプロセスの欠陥を発見・除去し、プロセス装置が最高の性能で稼働できるために必要な感度とスループットを実現している。研究開発と生産ラインの立ち上げには、ブロードバンド照明とNanoPoint™技術を採用したC205パターンウェーハ検査装置が、重要な欠陥を高感度で検出し、新しいプロセスやデバイスの迅速な最適化を支援する。量産時には、新しい光学技術とDefectWise® AIソリューションを採用した8935パターンウェーハ検査装置が、チップの最終的な品質に影響を及ぼす可能性のあるプロセスエクスカーションを高速かつ正確にコントロールするために、低い疑似率で様々な重要欠陥を捕捉する。
I-PATは革新的なインラインスクリーニングソリューションであり、KLAの検査装置およびデータ解析装置上で動作します。I-PATは、最初に重要なプロセスステップにて、8935を含む8シリーズやPuma™レーザースキャニング検査機により収集したデータから欠陥の特徴を抽出します。I-PATはその後、SPOT™生産プラットフォームのカスタマイズされた機械学習アルゴリズムとKlarity®欠陥管理システムの統計分析機能を活用して、母集団から外れている欠陥識別し、欠陥の可能性があるチップをサプライチェーンから排除する。
自動車用チップの製造に特化した新製品の開発に加え、KLAは自動車業界と密接に協働している。KLAは、自動車産業における電子部品の認定基準を策定する団体であるAEC（Automotive Electronics Council：http://www.aecouncil.com/）への加盟や、ミシガン州アナーバーにある第2本社の設立（https://www.kla.com/michigan）など、自動車業界が厳格な電子部品品質基準を満たすことができるよう支援している。
「本日発表された新製品は、検査装置、計測装置、データ分析装置、プロセス装置といった当社の包括的なポートフォリオに加わり、車載電子部品エコシステムの多様な領域をサポートします」とKLAのエレクトロニクス・パッケージング・コンポーネント（EPC）ビジネスユニットのエグゼクティブ・バイス・プレジデントであるOreste Donzellaは述べている。「これらの製品のそれぞれが、車載電子部品を構成するチップ、コンポーネント、プリント基板、ディスプレイの高い歩留まり、信頼性、性能の確保において需要な役割を果たします」。
KLA Corporationは、エレクトロニクス業界全体のイノベーションを可能にする業界最先端の機器およびサービスを開発している。同社はウェーハ、レチクル、集積回路、パッケージング、プリント回路基板およびフラットパネルディスプレイを製造するための高度なプロセスコントロールおよびプロセス対応ソリューションを提供している。
