装置寿命と安定性を画期的に高められるプラズマディスプレイ・半導体製作技術が韓国国内企業に移転され、本格量産装備開発が推進される。韓国メディア「inews24」が報じた。（写真：韓国核融合エナジー研究院とアバコ代表の契約式の様子）
韓国核融合エネルギー研究院（院長ユ・ソクジェ）は17日、アバコ（代表キム・グァンヒョン）と「ECRプラズマを利用したスパッタリング技術」の技術移転契約を締結した。次世代ディスプレイ蒸着量産装備の開発を推進する。
ECR（Electron Cyclotron Resonance）はマイクロ波で電子を加熱する方式でマイクロ波周波数を電子の各周波数と同じように合わせて共鳴を起こして加熱することを意味する。スパッタリング（Sputtering）は半導体・ディスプレイなどの分野の薄膜製造工程で多様な電極蒸着、OLED酸化膜蒸着などに使用する物理的蒸着方法だ。
ECRプラズマスパッタリング技術はターゲット付近に高密度プラズマの発生と電圧調節をそれぞれ独立的に制御することができる。高エネルギー粒子による薄膜の損傷を最小化する。薄膜表面加熱効果を通じて低温で高品質の薄膜を蒸着する先端技術だ。
既存技術の場合、装置の構造的問題で蒸着率損失とマイクロ波発生装置の短い寿命、内・外部真空チャンバーの大きさなどで大規模量産に限界があった。
反面、今回移転される核融合研の「新概念ECRプラズマスパッタリング技術」は既存スパッタリング技術より工程圧力を10倍低く運転できる。蒸着率と粒子のエネルギーも調節可能で、装置寿命と安定性を画期的に改善した。従来の装置が実現できなかった次世代ディスプレイ薄膜蒸着工程に採用できるものと期待されている。
アバコは、スパッタリング技術の開発と関連し、13年間、核融合研と協力を進めてきた先端産業分野の総合装備企業だ。これまで2回の技術移転を通じて、第5世代ECRプラズマスパッター装備の開発に成功したことがある。アバコは今回の技術移転を土台に世界で初めて量産技術を確保し国内外の次世代半導体・ディスプレイ製作市場占有拡大を推進するという計画だ。
技術移転責任者であるキム・ソンボン責任研究員は「今回の技術はこれまで解決課題だった量産性を画期的に高めた新概念技術で量産化に成功すれば、国内企業が次世代ディスプレイ産業をリードする『ファーストムーバー』に浮上し、この分野の国家競争力を高めるのに貢献できると期待する」と話した。
ユ・ソクジェ核融合研究院院長は「今回の技術移転事例は政府出捐研究所と国内中小・中堅企業が信頼を土台に長い間持続的に協業し産業技術発展に貢献した模範事例になるだろう」とし「今後も研究院の優秀研究成果を多様な産業分野に拡大し国家産業発展に貢献できるよう努力する」と述べた。
