半導体工程に使用するガス供給装置のチューブとバルブ、フィルターなどの部品80~90%を韓国は数十年間日本に依存してきた。少なくとも2019年6月まではそうだった。同年7月、日本の輸出規制後、半導体配管部品メーカーのアスプロは、これらの部品の国産化に成功した。輸出規制以前に国産化は考えられなかった。サムスン電子、SKハイニックスなど半導体大手企業が信頼度と品質が検証された日本製品を使わない理由がなかったため、テスト機会（信頼性検証）さえ持てなかったためだ。韓国メディア「アジア経済」が報じた。（写真：チュギョンホ経済副総理がソウル大半導体共同研究所を訪問し実験設備を見ている様子＝聯合ニュース）
原文記事：https://view.asiae.co.kr/article/2022063007335414763
「窮すれば通ず」と言ったところか。技術力があってもこれを検証される機会がなく、製品化を諦めるしかなかった素材・部品・装備（素・部・装）中小企業に機会が訪れた。アスプロ研究所のパク・マンホ所長は「以前は日本製品と比較して技術力が同じだと説明しても、これを検証できる機会自体が足りなかったが、輸出規制以降に検証機会が与えられ13品目のバルブを全て検証され製品化することができた」と話した。
アスプロは今年からこの部品を韓国の半導体大手企業に供給している。かつてはほとんど日本製品として使われていたものだ。日本から輸入していたIGS（統合ガス管理システム）モジュールに装着できるガスケットフィルターは、日本に逆輸出するほど成功的な半導体部品の国産化ケースに挙げられる。ガスケットフィルターは精密にガスを調節するのに使用する部品だ。フィルター価格が1個当たり10万ウォン（約1万円）余りに達する高価だ。アスプロにとって日本の輸出規制は機会になった。2019年当時の売上は404億ウォン（約42億円）だったが、2021年586億ウォン（約61億円）を記録し、今年850億ウォン（約89億円）の売上を目標にしている。2019年と比べると、今年の売上は2倍を超えるものだ。
チューブも日本から全量輸入してきた。日本の輸出規制以降、これを国産化しなければならないという認識があり、アスプロは産業省の支援を受けてセア昌原（チャンウォン）特殊鋼と韓国材料研究院、高等技術研究院、韓国航空大学などと共に開発に成功した。これを国産化するには2年半という時間がかかった。現在、3つの品目が実証検証テストを受けている。
半導体用品質検査装備を開発・生産するエクシコンも最近3年間、半導体非メモリ検査装備国産化という成果を出した。日本の輸出規制以後、政府と半導体メーカーは非メモリテスト装備の国産化を推進した。エクシコンはいち早く非メモリテスト装備を研究、国策課題に着手し、今年3月に開発を完了、現在量産のための顧客会社の最終承認を控えている。CIS（CMOSイメージセンサー）検査装備は、日本の輸入依存度が高かった。韓国の大手企業はいずれも日本の装備会社アドバンテストの製品を使ってきた。エクシコンのパク・ジョンス部長は「今まで輸入製だけに依存してきた非メモリ検査装備の国内初の国産化事例」とし「日本製品に比べて価格競争力があり顧客企業の価格負担も低くすると期待している」と説明した。
米国企業が100%独占していた装備を国産化した事例もある。半導体感光液洗浄装備世界1位企業であるPSKのイム・ジホン課長は「日本輸出規制以後、顧客社の素材・部品・装備企業国産化に対する関心と支援が増え、このような状況に力づけられ米国ラムリサーチから100%輸入していた『ベベル・エッチャー（傾斜面エッチング装備）』の国産化に成功した」と話した。ベベル・エッチャーは半導体の全工程で主に歩留まり向上のために使用する装備だ。これまで国内で生産されていた装備ではなく、後発ランナーとして国産化する部分に問題が多かった。特に特許を作り出す部分、工程を作り出す困難が多かった。従来もベベル・エッチャーに対する国産化構想があったが、日本の輸出規制以後本格的に国産化に突入し、成功することができた。
イム課長は「サムスン電子の積極的な支援と緊密なコラボレーションがあったため可能だった」と話した。PSKは先月からサムスン電子に装備を納品している。PSKは半導体産業協会の「半導体性能評価事業」を通じてSKハイニックスから支援を受けたりもした。今年、SKハイニックスに量産部門の初度売上が発生した。半導体装備の国産化で海外依存度を下げるものと期待される。
日本の輸出再開後、高純度フッ化水素、フッ素ポリイミド、極紫外線（EUV）用フォトレジストの3大品目の日本依存度は再び高まった。半導体装備の輸入も増えたが、だからといってこの3年間、成果がなかったわけではない。日本の対韓国輸出規制3年が過ぎた今年、素材・部品・装備分野で韓国の日本依存度は過去最低水準を記録した。
産業省の素・部・装ネットによると今年1~5月の素材・部品・装備の累積輸入額1072億1400万ドル（約14兆5592億円）のうち、日本製品は167億3900万ドル（約2兆2731億円）で15.6%を占めた。これは関連統計が作成され始めた2001年以後、21年ぶりの最低水準だ。日本製品の輸入比重は2019年16.9%、2020年17.2%から昨年15.9%に減った。今年1~5月には15.6%の割合を占めた。
産業省の関係者は「日本の輸出規制が施行された2019年（16.9%）に比べて2020年（17.2%）には一時的に日本依存度が小幅増えたが、政策の効果が当該年度に出ることは難しいという点を勘案する必要がある」とし「政府の迅速な研究開発支援と素材・部品・装備法改正など政策効果が時間が経つにつれて現れ、3大核心品目をはじめとする日本全般に対する素材・部品・装備技術自立度が高まった」と述べた。
韓国半導体産業協会のアン・ギヒョン専務は「素材・部品・装備の国産化や輸入多角化は3年程度の時間になることではなく、少なくとも10年以上かかること」とし「単純に今の状況で成果を評価することはできない」と話した。3年程度で技術自立が可能だったなら、当初から日本依存度を高めて従属することも起きなかったという話だ。アン専務は「半導体とディスプレイエッチング工程に使われるフッ化水素とフォルダブル携帯電話のモニターフィルム素材であるフッ素ポリイミドはすでに国産化が完了し、極紫外線（EUV）用フォトレジストも相当部分開発が進行されたと聞いている」と説明した。
米国と中国の覇権戦争、COVID-19パンデミック、ウクライナ戦争などはグローバルサプライチェーン危機を呼び起こした。当初、素材・部品・装備技術自立努力は日本の貿易報復にともなう輸出規制から始まったが、グローバルサプライチェーン危機の中で半導体・素材・部品・装備は「国産化」を越え「自給化」の観点からも重要性が高まっている。最近、半導体不足（ショーテージ）現象が起き、国内に製造施設の需要が増え、同時に装備需要も急増した。
経済安保の側面で最も安全なのは、自国に製造施設を確保することだという認識が生まれ、世界的に素材・部品・装備企業の誘致に向けた競争も繰り広げられている。EUの半導体法が代表的だ。これまで半導体デザインやソフトウェア分野に集中してきた欧州諸国は最近、半導体製造業の育成に積極的に乗り出している。グローバルサプライチェーン危機状況で半導体製造をこれ以上外部に任せることはできないという判断からだ。半導体工場誘致のためのインセンティブも強化している。ドイツとアイルランドなどに新規半導体工場と研究所を設立することにしたインテルは、EUから今年に68億ユーロ（約9兆2800億ウォン、約9777億円）規模の半導体支援金を受けているという。一方、韓国の半導体素材・部品・装備への投資はまだまだ遠い。
明知（ミョンジ）大学国際通商学科のキム・テファン教授は「過去には日本の3大規制品目だけを国産化しても良かったとすれば、グローバルサプライチェーン危機が深刻化した今日は米国、中国、日本など全方位的リスクを管理するために半導体素材・部品・装備自給化に注目しなければならない」とし「グローバルサプライチェーンでの同盟を強化すると同時に国内素材・部品・装備企業に対する長期的な支援を通じて半導体全分野に対する対応力を高める必要がある」と述べた。
参考記事：ユン次期大統領の政策協議団、萩生田経産大臣と面談…輸出規制など協議
参考記事：次期大統領の政策協議代表団、日韓関係改善「特命」受け24日に日本へ派遣
参考記事：「半導体は国家安保資産」…大統領職引継ぎ委、韓国の超格差確保を支援
