サムスン、東京エレクトロンにエッチング装置発注か

サムスンディスプレイは2021年に稼動予定の量子ドット(QD)ディスプレイの生産ラインQ1に誘導結合プラズマ(ICP、Inductively Coupled Plasma)ドライエッチング装置7台を用意する計画だ。韓国ジエレックが報じた。

供給元は韓国のICDとウォニックIPS、東京エレクトロン(TEL)の3社から選ばれる見通しのよだ。

サムスンディスプレイは忠南牙山2キャンパスA2工場とA3・A4工場でそれぞれ5.5世代(1.3mx 1.5m)と第6世代(1.5mx 1.85m)基板用ICPエッチング装置を量産ラインに適用し、中小型有機発光ディスプレイ(OLED )のポリシリコン(LTPS)薄膜トランジスタ(TFT)を作っている。 サムスンディスプレイが第8世代(2.2m x 2.5m)ICPエッチング装置でオキサイド(oxide)TFTを作るのはQDディスプレイの生産ラインが初とのこと。

業界関係者は、「開発チームでは、東京エレクトロンを押しているが、購入チームでは納入実績が良いICDを好んでいる」とし「購入の決定権は、最終的には購入のチームにある」と述べたという。

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