SKマテリアルズもフッ化水素量産か?

韓国企業であるSKマテリアルズが今年上半期中に「高純度フッ化水素(エッチングガス)の量産に入る予定であるという。韓国の時事フォーカス紙が報じた。

SKマテリアルズは、日本政府によるフッ化水素の対韓輸出管理強化が試行される前から、高純度フッ化水素の国産化作業を行ってきたとされる。SKマテリアルズは昨年、慶尚北道栄州にある本社敷地にフッ化水素ガス製品の工場を竣工し、政府の許認可まで完了するという方針のもと設備を予定通り完成させたという。同紙によると、SKマテリアルズは、現在、高純度フッ化水素のサンプルテストを進めているという。純度は99.999%水準という。

フッ化水素は、半導体製造工程に使われる素材であり、原材料であるウェハに、目的の形状どおりに回路の形をエッチングする工程に使われることから、「エッチングガス(Etching Gas)」とも呼ばれる。不純物の除去にも使用されるため、異物がほとんどない「高純度」製品の使用が必須であり、現在は、森田化学、ステラケミファなど日本メーカーが世界市場シェアの90%を占めている。先日、森田化学が約半年ぶりにフッ化水素を韓国に輸出したことが分かっていた。

日本政府が昨年7月、韓国のフッ化水素、フォトレジスト(PR)などの半導体材料の輸出管理強化(輸出規制)を行った、韓国に輸入される同輸入額は急減していた。 2019年6月に約530万ドルに達していた日本産のフッ化水素輸入額は、同7月に5分の1の水準である96万ドルまで減少した。以来、8月と9月には輸入が皆無となり、10月に10万ドル、11月に14万ドルとなっていたが、昨年12月には約794トンのフッ化水素が輸入されたことが分かった。約400kgが輸入された11月に比べて1900倍以上増えていた。

フッ化水素に関しては、先日、ソルブレインという韓国企業が12ナインレベルのフッ化水素の量産体制を確保したと報じられていた。

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