EUV露光装置好調の蘭ASML、最大購入社はサムスン

オランダの半導体製造装置メーカーであるASMLは22日、昨年1年間118億ユーロ(約1.43兆円)の売上高と26億ユーロ(約3145億円)の営業利益を達成したと明らかにした。売上高は前年比8%増となった。同社の売上高は、2015年は63億ユーロ(約7621億円)程度だったが、4年で2倍近くに増えた。

ASMLの売上増加は、半導体露光装置の出荷増が貢献した。近年、半導体微細工程の競争が激化するなか、同社が全世界で唯一生産するEUV露光装置の需要も伸びた。 同社によると、昨年全体の売上高のうち、EUV露光装置が占める割合は31%であり、前年(23%)に比べ8%ポイント増加したという。

ソウル経済紙によると、サムスン電子は一台1500億ウォン(約141億円)に達するEUV露光装置を最も多く購入した企業だ。サムスン電子は昨年4月ファウンドリを中心としたシステム半導体育成計画「半導体ビジョン2030」を発表するなど、ファウンドリ1位を掲げ、台湾TSMCの追撃するために超微細工程の競争力強化に拍車をかけている。そのためEUV露光装置を大挙購入した。サムスン電子は、今後Dラム生産にもEUV装置を導入する計画であるといわれる。

サムスンの積極投資を受け、現在ファウンドリ業界において首位を走る台湾のTSMCもEUV露光装置の購入を増やしている。ASMLの昨年の地域別売上高を見ると、台湾が51%を占めた。ほとんどTSMCが購入したものと推定される。韓国の割合は16%であった。2018年には、ASMLの売上高のうち韓国が占める割合は35%であり、台湾(19%)を超えて最も高かった。 昨年ASMLが販売したEUV装置は26台であり、前年(18件)に比べ44.4%増加した。

ピーター・ベニンクASML最高経営責任者(CEO)は「システム半導体分野の強い成長とそれに伴うDUVとEUVシステムの需要によって成長した一年だった」と述べている。

ASMLはオランダ南部・フェルトホーフェンに本部を置く半導体製造装置メーカーである。半導体露光装置を販売する世界最大の会社であり、16ヶ国・60以上の拠点を有する。世界の主要半導体メーカーの80%以上がASMLの顧客であるといわれる。

韓国KIPOST紙によると、EUV露光装置以外では、液浸フッ化アルゴン(ArFi)装置の売上が多く、全体の売上高の半分以上を占める。2018年には18台のEUV装置と86台のArFi装置が、昨年は26台のEUV装置と82台のArFi機器が出荷された。

ソウル経済紙によると、EUV市場は、高性能コンピューティング(HPC)市場と5Gの需要拡大をベースに今年も急成長が予想される。たとえばEUV装置で生産した3ナノチップは5ナノ製品と比較しチップ面積を35%以上削減することができ、消費電力を50%削減しながら、性能は30%向上させることができるという。大容量のデータを処理する5G環境では、アプリケーション・プロセッサ(AP)なども超微細工程を通じた高度化が要求されるという。

(写真=iStock)

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