ソウル大、エッチング工程を必要としないマイクロLED製作技術を開発

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ソウル大、エッチング工程を必要としないマイクロLED製作技術を開発

ソウル大学の研究チームが、エッチング工程を必要としないマイクロLEDの製作技術を開発した。

ソウル大の材料工学部ユン・ウイジュン教授の研究チームは、100ナノメートルの厚さのサファイアナノ膜を活用し、高効率マイクロLEDを製作することができる源泉技術を開発したと7日、明らかにした。

マイクロLEDは光を発する個別素子の大きさが100マイクロメートルよりも小さい超小型のLEDをいう。明るさ、解像度、応答速度、エネルギー消費効率、寿命などすべての面で、既存のLCDやOLEDの限界を超えるということで注目されている技術である。

市場調査会社のマーケット・アンド・マーケットによると、2025年までに、マイクロLED市場規模は201億5800万ドルに達すると推定される。

ただし、まだ商用化が可能なレベルのプロセス技術は登場していない。 LED素子のサイズが小さくなり、発生する多くの問題を解決できずにいる。特に既存のマイクロLEDの製造工程は、基板上にLED構造を造成した後、目的のサイズにエッチングし、分離する工程が必要であるため、素子の効率が急激に低下するという問題があったという。
 

(画像:サファイアナノ膜構造物が形成された基板と、その上に造成したマイクロLEDアレイの模式図と電子顕微鏡写真、単一のマイクロLEDチップの発光のイメージ。 [ソウル大提供])
 
ユン・ウイジュン教授の研究チームは、100ナノメートルの厚さのサファイアナノ膜を基板上にアレイの形でまず形成する方法を考案した。別のエッチング工程なしに窒化物半導体ベースのマイクロLEDを個別に造成する技術を開発した。互いに分離して造成される窒化物半導体のユニークな特性を活用し、エッチング工程が必要ないマイクロLED造成の源泉技術を開発したという。

研究チームは「今回の研究結果は、既存のマイクロLED製作工程の限界を克服し商用化を早めることができるだろう」と説明した。

今回の研究では、ソウル大学、サムスン総合技術院、韓国科学技術院、韓国光技術院が参加し、サムスン未来技術センター、教育部BK21プラスビジネス、韓国研究財団の支援で行われた。研究結果は、ナノ科学技術の専門誌である「サイオンティーピクリポーツ(Scientific Reports)」に5月6日付けでオンライン掲載された。
 
 


 
 
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