[特集]フッ化水素を内製化したSKグループ、半導体事業でさらなる動きも

半導体 特集

[特集]フッ化水素を内製化したSKグループ、半導体事業でさらなる動きも

韓国財閥大手のSKグループ傘下にあるSKマテリアルズ社は17日、超高純度(純度99.999%)フッ化水素(HF)ガスの量産を開始したと発表した。

超高純度フッ化水素ガスは、半導体の露光工程に使われる洗浄ガスであり、半導体プロセスの微細化で需要が急増している。昨年7月に日本による同品目への輸出規制(輸出管理強化)がなされるまで、韓国にとって海外依存度が100%に達していた製品だ。液体に比べ、ガスは、より微細な工程で用いられるとされる。

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