東京応化工業がEUVフォトレジストを韓国で生産…韓国国営ニュース報じる

半導体

東京応化工業がEUVフォトレジストを韓国で生産…韓国国営ニュース報じる

韓国の国営ニュース・KBSは1日、EUV(極端紫外線)用フォトレジストを生産する東京応化工業株式会社(TOK)が韓国現地での生産を始めたと報じた。

KBSによると、東京応化工業は1日、KBSが送付した書面の質問に対し、「TOKのグループ企業であるTOK尖端材料社(티오케이첨단재료주식회사/TOK ADVANCED MATERIALS CO., LTD.)でEUV用フォトレジストを製造している」と返答したという。

EUV用フォトレジストは次世代半導体の製造プロセスにおいて必須の感光剤であり、技術的難易度が高く、これまで韓国企業は日本産への依存度が高かった。
 
(参考記事:「[特集]WTO提訴再開を表明した韓国政府と日本側の反応」)
(参考記事:「米デュポンが韓国にEUVフォトレジスト工場を建設か」)
(参考記事:「日本の輸出規制は国産化を後押しも「追加規制」を予想…韓国貿易協会」)
 
KBSによると、半導体業界の関係者は、「TOKの韓国法人で生産されたEUV用フォトレジストがサムスン電子の半導体プロセスにおいてテスト中だ」と述べたという。

KBSは、日本企業による韓国現地生産が相次いでいるとし、関東電化工業が半導体用特殊ガスの「硫化カルボニル」を天安工場で生産開始したことや、半導体用フィルムである「ソルダーレジスト」において全世界占有率1位の太陽ホールディングスが中清南道の唐津(タンジン)に投資するなどの例を挙げた。
 

 


 
 
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