中国NATA社「ArFフォトレジストの認証を通過した」と発表

半導体

中国NATA社「ArFフォトレジストの認証を通過した」と発表

中国のNATA社(NATA Opto-Electronic Material)は18日、自社が開発したフッ化アルゴン(ArF)フォトレジストが、最近、顧客の使用認証を通過したと発表した。
 
(参考記事:「韓国から中国へのフォトレジスト輸出が増加…背景にサムスン肝入りの工場か」)
 
同社は、ArFフォトレジスト商品開発と国産化を意味するものであるとし、中国内で検証された初のArFフォトレジストであると説明した。

韓国メディアなどによると、NATAは今年春に、自社が建設しているフッ化アルゴン(ArF)フォトレジスト工場でサンプルが検証されている段階であると明らかにしていた。

同社は、中国政府の「ArFフォトレジストの商品の開発と産業化プロジェクト」を担い工場建設をしていると伝えられていた。
 
(参考記事:「韓国のフッ化水素輸入、対日依存度が下がる…フォトレジストやフッ化ポリイミドも」)


 
 
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