サムスンがフッ化水素を再利用か…使用量最大9割減?

半導体

サムスンがフッ化水素を再利用か…使用量最大9割減?

サムスン電子が、半導体洗浄に使われるフッ酸(液化フッ化水素)を再利用できるシステムを開発し、試験運用に入ったとの報道が出ている。
 
(参考記事:「韓国の対日フッ化水素輸入額が昨年74%減少…国産品で代替か」)
 
MTによると、サムスン電子は最近、高濃度フッ化水素洗浄液を再利用することができるシステムを開発し、華城の半導体ラインの一つで試験運用中であると報じた。フッ化水素洗浄液を内部循環装置で回収した後、再利用する方式であるという。

サムスン電子が開発したシステムは、ウェーハ裏面洗浄工程でフッ酸を再利用するシステムであるとされ、配線工程の後にウェーハ表面に残った金属汚染物質を除去するものであるいう。サムスン電子は、いくつかの段階のテストを経て、フッ化水素の混合液の80%ほどをリサイクルしながら、生産枚数1500枚までの品質の安定性を確保するために最適の条件を見つけたとMTは伝えている。

サムスン電子は、試験運用の結果に基づいて、ライン全体に適用するかを決定する計画であるとされ、同システムを全事業所に適用した場合、既存フッ化水素の使用量の87%が減少する見込みであるという。
 
(参考記事:「韓国ラムテクノロジー社、高純度フッ化水素の生産6倍増へ…工場増設」)
(参考記事:「韓国ポスコ、脱硫設備素材の国産化に成功」)
(参考記事:「フッ化水素の森田化学、純利益が対韓国輸出規制前の10分の1以下に」)
 
(写真:iStock)


 
 
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