東京応化工業、韓国でのEUVフォトレジスト生産を大幅拡大か…「国産化政策に危機感」韓国紙

半導体

東京応化工業、韓国でのEUVフォトレジスト生産を大幅拡大か…「国産化政策に危機感」韓国紙

東京応化工業(TOK)が韓国でフォトレジストの生産量を増やすとの報道が出ている。今年末までに生産量の倍以上の拡大を目標にしているとされ、2019年に日本政府が輸出規制品目に指定した極紫外線(EUV)フォトレジストも含まれているという。
 
(参考記事:「韓国が高純度塩化水素(HCI)を国産化…サムスンの品質検査経て量産か」)
 
Aiタイムスは16日、業界情報をもとに、「TOK韓国法人であるTOK先端材料(TOK Advanced Materials)が仁川工場の生産能力の拡大を行っている」とし、「対象はEUV、フッ化アルゴン(ArF)、フッ化クリプトン(KrF)フォトレジストなどの先端製品である」と報じた。

同紙は、業界関係者などへの取材をもとに、TOKが、特に韓国でのシェアが高いEUV用フォトレジストの生産量を大幅に増加させるとの見方を示した。

EUVフォトレジストの分野において、韓国は対日依存度が高く、TOK、JSR、信越化学などの日本企業への依存度が90%近いとされる。

日本政府は、2019年7月に、韓国へのEUVフォトレジスト輸出について、一般包括許可対象から個別許可対象に変更した。TOKは昨年から韓国にある仁川工場でEUVフォトレジストの生産を開始した。サムスン電子がTOKの主要顧客とみられている。

Aiタイムスは、TOKが今年の生産量拡大を推進する理由について、「韓国市場での競争力強化とシェア確保のため」であるとし、国産化や企業誘致を進める韓国政府の動向から、「市場シェアを他の企業に奪われる可能性があるとの危機感が企業内で高まっているということだ」と伝えている。

韓国産業省(産業通商資源部)は、日本の輸出規制(輸出管理)措置の後、米国デュポン社と接触して投資誘致を確定させた。デュポンは2800万ドルを投資して忠南天安にEUVフォトレジストの生産設備を構築した。

SKマテリアルズとドンジンセミケムなど韓国企業もEUVフォトレジストの開発に乗り出した。韓国メディアなどによると、サムスン電子とSKハイニクスはSKマテリアルズが開発したEUVフォトレジストサンプルを半導体ラインの一部に適用してテストを行う予定であると伝えられている。

ドンジンセミケムに関してはEUVフォトレジストの開発に時間がかかっているとみられるが、ArFフォトレジストに関してはすでに開発・製造をしている。

TOK側は同紙の取材に対し、詳細な返答を拒んだ。
 
(参考記事:「韓国企業が「日本が独占する極薄銅箔の国産化に成功」発表…サムスンの半導体に適用へ」)
(参考記事:「サムスンがフッ化水素を再利用か…使用量最大9割減?」)
(参考記事:「韓国の対日フッ化水素輸入額が昨年74%減少…国産品で代替か」)
(参考記事:「[特集]韓国の半導体素材や部品などの国産化政策…1年半の経過」)
(参考記事:「韓国が「エポキシ」の国産化に成功…対日輸入率9割の半導体核心材料」)


 
 
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