韓国企業がArFフォトレジストを国産化…サムスンに供給開始

半導体 研究開発

韓国企業がArFフォトレジストを国産化…サムスンに供給開始

ドンジンセミケム(DONGJIN SEMICHEM)がサムスン電子に「フッ化アルゴン(ArF)フォトレジスト(PR)」を供給したようだ。
 
(参考記事:「韓国ドンジン社、EUVフォトレジスト関連人材を募集 ASML元幹部も昨年スカウト」)
 
25日、etnewsは、「ドンジンセミケムは昨年末からサムスン電子の最新のDRAM生産ラインにフッ化アルゴンイマージョン(ArFi)フォトレジストを供給していることが確認された」と報じた。サムスン電子はこれまでArFi PRの供給を日本など外国企業に依存していた。

同紙によると、ドンジンセミケムは、新しいASML ArFi機器をや人材採用などへの投資を大幅に増やしたとされ、その結果、半導体プロセス簡素化機能まで追加したArFi PRの開発と量産適用を約1年半ぶりに成し遂げたという。

東進セミケムはPRポートフォリオを継続して増やしていくだろうと同紙は予想した。
 
(参考記事:「東京応化工業、韓国でのEUVフォトレジスト生産を大幅拡大か…「国産化政策に危機感」韓国紙」)
(参考記事:「[特集]韓国政府が半導体など有望22社を選定…様々な支援で世界トップ企業に育成へ」)
(参考記事:「サムスン電子「高感度フォトレジスト開発で技術優位を確保」言及」)


 
 
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