韓国トンジン社、フォトレジスト製造棟の出荷式開催…EUV用国産化も推進

半導体

韓国トンジン社、フォトレジスト製造棟の出荷式開催…EUV用国産化も推進

トンジンセミケムは25日、京畿道華城の工場でフォトレジスト(PR)製造棟の竣工と製品出荷式を行った。
 
(参考記事:「韓国企業がArFフォトレジストを国産化…サムスンに供給開始」)
 
トンジンセミケムはKrF、ArF用PRを量産・供給している。サムスン電子とSKハイニクスが主な顧客会社だ。

詳しく報じたETNEWSによると、新工場は、昨年4月に着工された。地下1階、地上3階、延べ面積3400㎡(1028坪)規模で建てられ、昨年12月から製造設備をかけて、この日に本格的に稼動を開始した。

新設工場の最大生産能力は100%設備構築とフル稼働基準で月3万2000ガロンである。現在の生産能力の4倍の規模とのこと。同紙によると、トンジンセミケムは、サムスン電子に3D NAND型のPRを独占供給するなど、事実上、韓国で唯一の半導体PR会社である。

ETNEWSは、「トンジンセミケムは国内最大の半導体メーカーであるサムスン電子のKrF用PRを供給している途中、昨年末からArF液浸(i)PRに拡張することに成功した」とし、「サムスン電子ArFi PR供給は、これまで、外国企業が独占してきた。トンジンセミケムは2019年、日本の輸出規制の後のチャンスをつかみArFi PRの開発と量産適用に成功した」と伝えた。

トンジンセミケムはEUV PRの国産化も推進している。
 
(参考記事:「東京応化工業、韓国でのEUVフォトレジスト生産を大幅拡大か…「国産化政策に危機感」韓国紙」)
(参考記事:「韓国ドンジン社、EUVフォトレジスト関連人材を募集 ASML元幹部も昨年スカウト」)
(参考記事:「韓国が「マグネトロン」技術を国産化 「日本の技術より優れている」」)


 
 
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