韓国標準研所長「フッ化水素など国産化はSKマテリアルズと緊密コラボ」

半導体

韓国標準研所長「フッ化水素など国産化はSKマテリアルズと緊密コラボ」

カン・サンオ=韓国標準科学研究院先端計測技術研究所長は、13日に開かれたオンラインの記者懇談会において、「短時間でフッ化水素を含む半導体用ガスの素材を国産化したのはSKマテリアルズと標準研の緊密なコラボレーションの結果」であると述べた。韓国各紙が報じた。

フッ化水素は、半導体回路を削ったり洗浄したりするために使われ、10nm(ナノメートル・1nmは10億分の1m)以下の高精度回路であるほど精度と完成度を高めるために99.9999%以上の超高純度が必須となる。

標準研のガス分析標準グループは、自主的に保有している分析機器と物性分析などを用いてSKマテリアルズの技術協力を行ったという。標準研半導体測定装置のチームは、今年5月に半導体ウェハ工程の結果に直接影響を与えるプラズマ密度の値と均一度をリアルタイムで測定することができる技術を世界に先駆けて開発することに成功した。標準研のプラズマ測定の不確かさは、2%以内で世界最高水準とされる。
 
参考記事
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