韓国で半導体テストベッド構築進む。ArF露光機も導入へ

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韓国で半導体テストベッド構築進む。ArF露光機も導入へ

昨年より始まった日本の輸出管理(輸出規制)を受け、韓国国内で急速に進められている「12インチ半導体テストベッド」の準備作業が順調であると、12日韓国メディアの電子新聞が報じた。
国内の大企業と連携し、確保が難しかったとされる「フッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置」が近いうちに使用可能になるようだ。露光機やトラック装置など10個の機器を今年末までに構築し、来年の上半期に稼動する計画であるという。
同紙によると、KAISTのナノ総合技術院は韓国国内の半導体大手が保有するArF液浸露光機を、ファブに導入するための最終段階に入ったという。
同技術院は昨年、露光装置メーカーASMLと随意契約を結び、ArFフォトレジスト研究用の中古露光装置の購入を打診していたとのこと。同社のArF液浸露光装置は新機器が1000億ウォン(約88億円)と、非常に高額であるためだ。

露光機と共にフォトレジストをウェハ上に均一な厚さで塗布するトラック機器も随意契約で調達する予定であるという。
ナノ総合技術院は、今年末までに計10個の機器をファブ内に導入する予定で、機器には化学気相蒸着(CVD/Chemical Vapor Deposition)やドライエッチング装置、洗浄、熱処理、厚さ測定装置などが含まれるという。
これら関連機器は、今月中に公開入札で購入する予定であり、購入予算は385億ウォン(約34億円)とのことだ。
12インチウェハのテストベッド設置は日本の半導体素材の輸出管理強化(輸出規制)以降、大きく注目されていた。国内10社以上に半導体テストベッドがありながら、業界の実情に合わない8インチウェハが中心であり、中小半導体メーカーの稼働率が低かったのだ。
大田(テジョン)にあるナノ総合技術院は、早急なフォローアップを介して900㎡(300坪)規模の土地をオープン化。来年上半期にサービスを開始することを目指しているという。
「韓国初の12インチ半導体テストベッドの準備が整う」との期待感と同様に、中小素材・部品・機器メーカーの期待値もかなり高まっていると同紙は伝える。素材メーカーはファブ内でのフォトレジストなどの核心素材の開発に期待感をつのらせ、機器メーカーは40㎚以下のパターンウェハのサービスを受けつつ装置の性能実験を行うことができると期待をよせているという。また、フォトレジスト事業に参入するSKマテリアルズもテストベッドの構築に大きな関心を持っていることが分かっていると同紙は伝えた。


 
 
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